超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表麵質量等多個方麵都有極其嚴格的要求，以下是具（jù）體介紹：
尺（chǐ）寸精度（dù）
公差範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如（rú），在航空航天領域，一些發動機葉片的關（guān）鍵尺寸公差可（kě）能要（yào）求控製在 ±5μm 以內；在半導體製造中，芯片製造所（suǒ）使用（yòng）的光刻掩膜版的線條寬（kuān）度公差可達到 ±10nm 左右。
一致性要（yào）求高：對於一批超精密零件，不僅單（dān）個零件要滿足高精（jīng）度要求，而且零件（jiàn）之間的（de）尺寸一致性也必須極高。以（yǐ）手機攝像（xiàng）頭中的微型光學鏡片為例（lì），同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控製在（zài）極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度：要求零件的表麵平整度（dù）極高，例如，精密光學平（píng）麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平（píng）麵的起伏偏差在幾十納米（mǐ）以內。
圓度：像航空發動機（jī）的（de）渦輪軸等關鍵零件（jiàn），其圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以（yǐ）下，以確（què）保在高速旋轉時（shí）的穩定性和可靠性。
圓柱（zhù）度：對於一些高精度的液壓油缸、氣動元件等，圓柱（zhù）度要求嚴格（gé），可能在 0.002mm - 0.005mm 之（zhī）間，以保證良好的密封性和（hé）運動精度。
位置精度（dù）
同軸（zhóu）度：在汽車發動機的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影響（xiǎng）發動機的（de）動力輸出和穩定性。
垂直度與平行度：在精密（mì）模具製造（zào）中，模具的上下模板之間的平行度誤差（chà）通常要求控製（zhì）在 0.05mm 以內，以（yǐ）保證模具在合模時的精度（dù），從而生產出高質量（liàng）的產品。
表麵質量
表麵粗糙度：超精密零件（jiàn）的表麵粗糙度一般要求達（dá）到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至（zhì）更低。如硬盤的磁頭（tóu）滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩擦和（hé）提高讀（dú）寫性能，表麵粗糙度可（kě）能達到（dào） Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了（le）粗糙度外，還要求表麵無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等（děng）缺陷。例如在光學鏡片的（de）加工中，表麵任何（hé）微小的劃痕或裂紋都可（kě）能導致光線散射，影響光學性能。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大小、相組成等要均（jun1）勻（yún）一致。以高強度合金鋼製造的航空零部件為例，若材料微觀組織不均勻，會導致零件在受力時出現局部應力集中，降低零件的整（zhěng）體（tǐ）性能和使用壽命。
性能穩定性：材料的力學（xué）性能、物理性（xìng）能等要穩定。在電（diàn）子元器件製造中，用（yòng）於（yú）製造芯片的半導體（tǐ）材料，其電阻率、載（zǎi）流子遷移（yí）率等性能參數必須在嚴格的範圍內，否則會影響芯片的性能和（hé）可靠性。
裝（zhuāng）配（pèi）精度
間隙配（pèi）合（hé）精（jīng）度：在（zài）機械手表的（de）機芯裝配中，齒輪與軸之間的間隙配合精度（dù）通常要（yào）求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證（zhèng）手（shǒu）表的走時精度。
過（guò）盈配合精度（dù）：在汽車發動（dòng）機的活塞與活塞銷裝配中（zhōng），過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞與活塞銷之間既能傳遞動力，又能在不同工況（kuàng）下保持良好（hǎo）的工作狀態。
